특징

• 필요 동작각도에 따라 원호형 마그네트와 코일 유니트를 구성하여
  코스트 퍼포먼스가 뛰어난 얼라이먼트 스테이지를 실현
• 워크 사이즈에 따라 동력 반경을 3가지 타입 라인 업
  R200 타입(178mm), R850 타입(825mm), R1550 타입(1525mm)
• 외주상에 위치센서를 설치하는 것으로 대형부하의 고정밀도 위치결정이 가능
• 기구부의 간략화, 공간절약화에 의해 코스트 메리트를 발휘

SSCNETⅢ · MECHATROLINK-Ⅲ · CC-Link · DeviceNet

동작 각도 한정 타입(R850/R1550)

• 대형 FPD 기판의 얼라이먼트 동작 등 大관성 부하의 고정밀도 위치결정에 최적
• 필요각 한정 동작　R850/R1550type

1회전 동작 가능 타입(R200)

• 45°의 마그네트 베이스를 8개 연결하는 것으로 1회전 동작도 가능
• 중공구조가 필요한 구동에도 최적
• 1회전 동작 가능　R200type